RF napajanje serije RHH

Kratki opis:

RF napajanje serije RHH oslanja se na razvijenu tehnologiju RF generiranja kako bi kupcima omogućilo RF napajanje veće snage, veće preciznosti i brzog odziva.Sa fazom se može podesiti, pulsno kontrolirano, digitalno podešavanje i druge funkcije.Primjenjive oblasti: fotonaponska industrija, industrija ravnih displeja, industrija poluprovodnika, hemijska industrija, laboratorija, naučna istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazma poboljšano hemijsko taloženje pare (PECVD), jetkanje plazmom, čišćenje plazmom, radiofrekventni jonski izvor, difuzija plazme, raspršivanje plazma polimerizacijom, reaktivno raspršivanje itd.

Detalji o proizvodu

Oznake proizvoda

Pošaljite nam email

Karakteristike

● Stilovi montiranja na pola cigle i stalak
● Usvojite potpunu digitalnu kontrolu, sa praktičnim i bogatim menijem za rad
● Funkcije podešavanja frekvencije, pulsne i pulsne sinhronizacije
● Sa funkcijom sinhronizacije CEX faze
● Savršena zaštitna funkcija

Detalji o proizvodu

Input	Ulazni napon: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (posebne specifikacije se mogu prilagoditi)
Input	Ulazna frekvencija: 47~63Hz
Izlaz	Izlazna frekvencija: 13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
	Raspon podešavanja: ±5%
	Izlazna snaga: 1.5~5kW
	Raspon regulacije izlazne snage: 1~100%
	Izlazna impedansa: 50Ω+j0
	Izlazni interfejs: tip N
	Režim izlaza: kontinuirani, impulsni
	Frekvencija impulsa: 100Hz~100kHz
	Radni ciklus: 5~95%
Indeks učinka	Faktor snage: 0,98
	Preciznost stabilnosti frekvencije: ±0,005%
	Efikasnost: 75% (na nominalnoj snazi)
	Harmonika: ＜-45dBc
	Lutanje: ＜-50dBc
	Eksterni kontrolni interfejs: analogna količina, komunikacija i sinhronizacija
	Način komunikacije: Standardni RS485 komunikacioni interfejs;Opcioni Ether CAT, industrijski Ethernet, itd.
Napomena: proizvod nastavlja sa inovacijama i performanse se nastavljaju poboljšavati.Ovaj opis parametra je samo za referencu.