RHH serija RF napajanje

Kratak opis:

RHH serija RF napajanja oslanja se na zrelu tehnologiju RF generisanja kako bi kupcima pružila RF napajanje sa većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. Sa mogućnošću podešavanja faze, kontrolom impulsa, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih ekrana, industrija poluprovodnika, hemijska industrija, laboratorija, naučna istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazmom poboljšano hemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma nagrizanje, plazma čišćenje, radiofrekventni izvor jona, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

Pošaljite nam e-poštu

Karakteristike

● Modeli za montažu u rack i polu-ciglu
● Usvojite potpuno digitalnu kontrolu, sa praktičnim i bogatim menijem za upravljanje
● Funkcije podešavanja frekvencije, pulsa i sinhronizacije pulsa
● Sa CEX funkcijom fazne sinhronizacije
● Savršena zaštitna funkcija

Detalji proizvoda

Unos	Ulazni napon: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Posebne specifikacije se mogu prilagoditi)
Unos	Ulazna frekvencija: 47~63Hz
Izlaz	Izlazna frekvencija: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Raspon podešavanja: ±5%
	Izlazna snaga: 1,5~5 kW
	Raspon regulacije izlazne snage: 1~100%
	Izlazna impedancija: 50Ω+j0
	Izlazni interfejs: tip N
	Izlazni način rada: kontinuirani, pulsni
	Frekvencija impulsa: 100Hz~100kHz
	Radni ciklus: 5~95%
Indeks performansi	Faktor snage: 0,98
	Tačnost stabilnosti frekvencije: ±0,005%
	Efikasnost: 75% (pri nazivnoj snazi)
	Harmonik: <-45dBc
	Lutanje: <-50dBc
	Vanjski upravljački interfejs: analogna količina, komunikacija i sinhronizacija
	Način komunikacije: Standardni RS485 komunikacijski interfejs; Opciono Ether CAT, industrijski Ethernet, itd.
Napomena: proizvod se neprestano razvija i performanse se nastavljaju poboljšavati. Ovaj opis parametra služi samo kao referenca.