RHH serija RF napajanje
-
RHH serija RF napajanje
RHH serija RF napajanja oslanja se na zrelu tehnologiju RF generisanja kako bi kupcima pružila RF napajanje sa većom snagom, većom preciznošću i brzim odzivom. Sa mogućnošću podešavanja faze, kontrolom impulsa, digitalnim podešavanjem i drugim funkcijama. Primjenjiva područja: fotonaponska industrija, industrija ravnih ekrana, industrija poluprovodnika, hemijska industrija, laboratorija, naučna istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazmom poboljšano hemijsko taloženje iz pare (PECVD), plazma nagrizanje, plazma čišćenje, radiofrekventni izvor jona, plazma difuzija, plazma polimerizacija raspršivanje, reaktivno raspršivanje itd.