RF napajanje
-
RLS serija RF napajanje
RF napajanje serije RLS usvaja trenutno stabilno i pouzdano pojačalo snage i osnovni DC kontrolni sistem kompanije, tako da proizvod ima vrlo stabilne performanse i visoku pouzdanost proizvoda. Usvojite kineski i engleski interfejs za prikaz, jednostavan za rukovanje. Uglavnom se koristi u fotonaponskoj industriji, industriji ravnih displeja, industriji poluprovodnika, hemijskoj industriji, laboratorijama, naučnim istraživanjima, proizvodnji itd.
-
Uparivači serije RMA
Može se prilagoditi RF napajanju serije RLS i široko se koristi u plazma jetkanju, premazivanju, čišćenju plazmom, degumiranju plazmom i drugim procesima. Kada se koristi samostalno, može se koristiti zajedno sa RF izvorima napajanja drugih proizvođača.
-
RF napajanje serije RHH
RF napajanje serije RHH oslanja se na razvijenu tehnologiju RF generiranja kako bi kupcima omogućilo RF napajanje veće snage, veće preciznosti i brzog odziva. Sa fazom se može podesiti, pulsno kontrolirano, digitalno podešavanje i druge funkcije. Primjenjive oblasti: fotonaponska industrija, industrija ravnih displeja, industrija poluprovodnika, hemijska industrija, laboratorija, naučna istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazma poboljšano hemijsko taloženje pare (PECVD), jetkanje plazmom, čišćenje plazmom, radiofrekventni jonski izvor, difuzija plazme, raspršivanje plazma polimerizacijom, reaktivno raspršivanje itd.