Napajanje srednje frekvencije MSB serije
-
Napajanje srednje frekvencije MSB serije
RF napajanje serije RHH oslanja se na razvijenu tehnologiju RF generiranja kako bi kupcima omogućilo RF napajanje veće snage, veće preciznosti i brzog odziva.Sa fazom se može podesiti, pulsno kontrolirano, digitalno podešavanje i druge funkcije.Primjenjive oblasti: fotonaponska industrija, industrija ravnih displeja, industrija poluprovodnika, hemijska industrija, laboratorija, naučna istraživanja, proizvodnja itd.
Primjenjivi procesi: plazma poboljšano hemijsko taloženje pare (PECVD), jetkanje plazmom, čišćenje plazmom, radiofrekventni jonski izvor, difuzija plazme, raspršivanje plazma polimerizacijom, reaktivno raspršivanje itd.