Depozicija
Steknite uvid i ubrzajte proces razvoja.
Advanced Energy isporučuje rješenja za napajanje i kontrolu za kritične aplikacije nanošenja tankog filma i geometrije uređaja.Kako biste riješili izazove obrade pločica, naša rješenja za preciznu konverziju snage vam omogućavaju da optimizirate točnost napajanja, preciznost, brzinu i ponovljivost procesa.
Nudimo širok raspon RF frekvencija, DC sisteme napajanja, prilagođene nivoe izlazne snage, tehnologije uparivanja i rješenja za praćenje temperature pomoću optičkih vlakana koja vam zaista omogućavaju bolju kontrolu procesne plazme.Takođe integrišemo Fast DAQ™ i naš paket za prikupljanje podataka i pristupačnost kako bismo pružili uvid u proces i ubrzali proces razvoja.
Saznajte više o našim procesima proizvodnje poluvodiča kako biste pronašli rješenje koje odgovara vašim potrebama.
Vaš izazov
Od filmova koji se koriste za oblikovanje dimenzija integriranog kola do provodljivih i izolacijskih filmova (električne strukture), do metalnih filmova (međusobno povezivanje), vaši procesi taloženja zahtijevaju kontrolu na atomskom nivou - ne samo za svaku karakteristiku već i za cijelu pločicu.
Osim same strukture, vaši deponovani filmovi moraju biti visokog kvaliteta.Moraju posedovati željenu strukturu zrna, uniformnost i konformnu debljinu, i da budu bez šupljina — a to je pored obezbeđivanja potrebnih mehaničkih naprezanja (kompresionih i zateznih) i električnih svojstava.
Složenost se samo povećava.Za rješavanje litografskih ograničenja (čvorovi ispod 1X nm), tehnike samousklađenog dvostrukog i četverostrukog uzorkovanja zahtijevaju vaš proces taloženja za proizvodnju i reprodukciju uzorka na svakoj pločici.
Naše rješenje
Kada implementirate najkritičnije aplikacije za taloženje i geometrije uređaja, potreban vam je pouzdan lider na tržištu.
Advanced Energy isporuka RF snage i tehnologija velike brzine usklađivanja omogućavaju vam da prilagodite i optimizirate tačnost snage, preciznost, brzinu i ponovljivost procesa potrebne za sve napredne PECVD i PEALD procese taloženja.
Koristite našu tehnologiju DC generatora da fino podesite svoj konfigurabilni odgovor na luk, tačnost snage, brzinu i ponovljivost procesa potrebne PVD (sputtering) i ECD procese taloženja.
Prednosti
● Poboljšana stabilnost plazme i ponovljivost procesa povećavaju prinos
● Precizna RF i DC isporuka sa potpunom digitalnom kontrolom pomaže u optimizaciji efikasnosti procesa
● Brz odgovor na promjene plazme i upravljanje lukom
● Pulsiranje na više nivoa sa prilagodljivim podešavanjem frekvencije poboljšava selektivnost brzine nagrizanja
● Dostupna je globalna podrška kako bi se osiguralo maksimalno vrijeme rada i performanse proizvoda