Depozit
Steknite uvide i ubrzajte proces razvoja.
Advanced Energy nudi rješenja za napajanje i kontrolu za kritične primjene taloženja tankih filmova i geometrije uređaja. Kako bismo riješili izazove obrade pločica, naša rješenja za preciznu konverziju energije omogućavaju vam optimizaciju tačnosti snage, preciznosti, brzine i ponovljivosti procesa.
Nudimo širok raspon RF frekvencija, DC sistema napajanja, prilagođenih nivoa izlazne snage, tehnologija usklađivanja i rješenja za praćenje temperature optičkim vlaknima koja vam zaista omogućavaju bolju kontrolu procesne plazme. Također integriramo Fast DAQ™ i naš paket za prikupljanje i pristup podacima kako bismo pružili uvid u proces i ubrzali proces razvoja.
Saznajte više o našim procesima proizvodnje poluprovodnika kako biste pronašli rješenje koje odgovara vašim potrebama.
Vaš izazov
Od filmova koji se koriste za oblikovanje dimenzija integriranih kola, preko provodljivih i izolacijskih filmova (električne strukture), do metalnih filmova (međusobno povezivanje), vaši procesi nanošenja zahtijevaju kontrolu na atomskom nivou - ne samo za svaku karakteristiku već i za cijelu pločicu.
Pored same strukture, vaši deponovani filmovi moraju biti visokog kvaliteta. Moraju posjedovati željenu strukturu zrna, ujednačenost i konformnu debljinu, te biti bez šupljina - a to je pored toga što moraju osigurati potrebna mehanička naprezanja (kompresivna i zatezna) i električna svojstva.
Složenost se samo nastavlja povećavati. Da bi se riješila ograničenja litografije (čvorovi ispod 1X nm), tehnike samoporavnavanja dvostrukog i četverostrukog uzorkovanja zahtijevaju da vaš proces nanošenja proizvede i reproducira uzorak na svakoj pločici.
Naše rješenje
Kada implementirate najkritičnije aplikacije za taloženje i geometrije uređaja, potreban vam je pouzdan lider na tržištu.
Advanced Energy-jeva tehnologija isporuke RF snage i usklađivanja velike brzine omogućavaju vam da prilagodite i optimizujete tačnost snage, preciznost, brzinu i ponovljivost procesa potrebne za sve napredne PECVD i PEALD procese nanošenja.
Iskoristite našu tehnologiju DC generatora za fino podešavanje vašeg konfigurabilnog odziva luka, tačnosti snage, brzine i ponovljivosti procesa potrebnih za PVD (raspršivanje) i ECD procese nanošenja.
Prednosti
● Poboljšana stabilnost plazme i ponovljivost procesa povećavaju prinos
● Precizna isporuka RF i DC signala s potpunom digitalnom kontrolom pomaže u optimizaciji efikasnosti procesa
● Brzi odziv na promjene plazme i upravljanje lukom
● Višenivosko pulsiranje s adaptivnim podešavanjem frekvencije poboljšava selektivnost brzine nagrizanja
● Globalna podrška dostupna kako bi se osiguralo maksimalno vrijeme rada i performanse proizvoda